Aramak
trSafir Gofret Aslında Nedir?
Safir levha, kristalografik bir düzleme yönlendirilmiş, büyütülmüş bir topuzdan alınmış, dilimlenmiş, alıştırılmış ve kontrollü bir kalınlığa, düzlüğe ve yüzey kalitesine kadar cilalanmış, tek kristalli alüminyum oksitten yapılmış ince bir disktir.
Safir ne cam ne de kaplamadır. Korindon malzemesi olan kristal Al2O3'tür, bu nedenle bitmiş bir levha Mohs 9 sertliğini 8,6 eV'ye yakın bir bant aralığıyla ve yaklaşık 0,19 ila 5,5 mikrometre arasında faydalı iletimle birleştirir.
Yönlendirme, herhangi bir çizimde ilk karardır, çünkü yüzeyde neyin büyüyebileceğini ve levhanın termal yük altında nasıl davranacağını belirler.
- c-düzlemi (0001): altıgen yüzeyin epikatmanla eşleştiği GaN LED ve microLED epitaksi için varsayılan.
- r-düzlemi: ince bir silikon filmin heteroepitaksiyel olarak biriktirildiği safir üzerinde silikon için kullanılır.
- a-düzlemi ve m-düzlemi: kutupsal olmayan araştırma yönelimleri mevcuttur, ancak aynı pürüzlülükte cilalanması daha zordur.
- Offcut: A eksenine doğru 0,2 derece genel bir MOCVD isteğidir, belirli cihaz çalışmalarında ise 4 derece görünür. Toleransı sıkı tutun çünkü kesik sapma büyüme sırasında adım yapısını değiştirir.
Çap ve kalınlık birlikte hareket eder. Yaygın boyutlar 50,8 mm, 100 mm, 150 mm ve 200 mm'dir; kalınlık 2 inç'te yaklaşık 430 mikrometreden 4 inç'te 650'ye ve 6 inç'te 1 mm'nin üzerine çıkar, çünkü kırılgan bir kristalden oluşan ince bir disk rutin kullanımda hayatta kalamaz.
Ortak Çap ve Kalınlıklarda Safir Gofretler Optoelektronik ve LED alt tabakalar için kalınlık, yüzey ve düzlük özelliklerine sahip 2 ila 8 inç arasındaki tek kristal safir levha seçeneklerini inceleyin. Ürünü Görüntüle → Boule'den Epi-Hazır Gofrete
Safir gofretler altı aşamada üretiliyor ve her aşamada partiyle birlikte gönderilen sertifikada bir parmak izi kalıyor.
Verimi Belirleyen Özellikler
Kabul kararlarının çoğunu dört sayı belirler: toplam kalınlık değişimi, eğrilik ve eğrilik, ön taraf pürüzlülüğü ve yönlendirme toleransı. Çizimdeki diğer her şey bu dördünü destekliyor.
| Parametre | Epi ve LED sınıfı | Optik kalite | İstenecek kanıt |
| Yönlendirme ve kesim | 0,2 derecelik kesikli c düzlemi | c-düzlemi veya çizim başına | X-ışını kırınım taraması |
| Çap | 100 mm artı veya eksi 0,2 mm | Çizim başına | Kenar çip haritası |
| Kalınlık | 650 mikrometre artı veya eksi 25 | 1 mm'den 5 mm'ye | Kalınlık map across the wafer |
| Toplam kalınlık değişimi | 10 mikrometre veya daha az | Açıklığın üzerinde 2 mikrometre | Prob tipi ve tarama alanı |
| Yay ve çözgü | 25 mikrometre veya daha az | Çeyrek dalga düzlüğü | Fikstür ve destek yöntemi |
| Ön taraftaki pürüzlülük | Ra 0,2 nm, epi-hazır | Ra 1 nm veya daha iyisi | AFM tarama boyutu |
| Arka taraf bitişi | Kazınmış veya cilalanmış | İnce zemin | Sertifikada belirtilen bitiş |
| Kenar profili | Pahlı ve çentikli yuvarlak zemin | Cilalı kenar | Çentik yönlendirme fotoğrafı |
Safir, Silikon ve Kuvars Yan Yana
Safir, elektriği iletmek zorunda olduğu zaman değil, levhanın ısıya, kimyaya veya ışığa dayanması gerektiğinde seçilecek alt tabakadır.
- 1000 C'nin üzerindeki büyüme sıcaklıkları, polimer taşıyıcıları ve düşük dereceli camları dışlar.
- Yüzey görünürden orta kızılötesine kadar şeffaf kalmalıdır.
- Kimyasal dayanıklılık ve çizilme direnci santimetre kare başına maliyetten daha önemlidir.
- Cihazın radyo frekansında yalıtkan, düşük kayıplı bir alt tabakaya ihtiyacı var.
- Silikonun daha basit ve çok daha ucuz olduğu durumda, levhanın kendisi akım taşımalıdır.
- Safirin emdiği 190 nm'nin altında derin ultraviyole iletimi gereklidir.
- Isı yayılması, yüksek güçlü bir dizide sınırlayıcı faktördür.
- Bütçe, aynı çaptaki bir silikon tabakanın birkaç katı üzerinde fiyatlandırılmış bir alt tabakayı karşılayamaz.
Tasarım ekiplerini şaşırtan termal sayıdır. Safir, ısıyı silikondan yaklaşık dört kat daha kötü ve erimiş kuvarstan kabaca yirmi beş kat daha iyi iletir; bu, tek bir düşük güçlü yayıcı için işe yarayabilir ve yoğun, yüksek güçlü bir dizi için acı vericidir. Bu özellik, desenli alt tabakalara, ince film aktarımına ve levha birleştirmeye olan ilginin çoğunu artırıyor.
Optik ve Yarı İletken Uygulamalar için Kuvars Gofretler Dalga kılavuzu, MEMS, yarı iletken ve optik bileşen kullanımları için düşük termal genleşmeye ve UV'den NIR'ye şeffaflığa sahip yüksek saflıkta kuvars levhaları karşılaştırın. Ürünü Görüntüle → Safir Gofretlerin Fiyatını Kazandığı Yer
Safir yüzeyler, her biri farklı baskın özelliklere sahip dört uygulama ailesinde kendini amorti eder.
GaN LED ve microLED epitaksi
İki ila altı inçlik c-düzlemli plakalar ışık yayan yığını taşır. Kesme kontrolü ve ön taraftaki pürüzlülük, kristal kalitesini ve dolayısıyla harici kuantum verimliliğini diğer tüm parametrelerden daha fazla etkiler.
Radyo frekansı ve safir üzerinde silikon
Yalıtkan bir alt tabaka, anahtarlar ve filtrelerdeki parazitik kapasitansı azaltır. Burada çizime optik iletimden ziyade kalınlık bütünlüğü ve yüzey düzlüğü hakimdir.
Optik pencereler ve sensör kapakları
Safir transmits from the visible to about 5.5 micrometers and resists scratching in abrasive environments, so it appears in infrared windows, LiDAR covers, and hardened camera ports. The range of sapphire wafer applications across electronics and optics goes well beyond lighting.
Taşıyıcı ve kukla gofretler
Yüksek sıcaklıktaki işlemlerde safir taşıyıcılar yeniden kullanılır çünkü malzeme yumuşamaz veya gaz çıkarmaz. Yeniden cilalama, kirlenme kurallarının izin verdiği durumlarda servis ömrünü uzatır.
Safir Optical Windows for Protective and Filtering Uses Lazerler, fotodiyotlar ve fiber optik iletişim sistemleri için çizilmeye karşı dayanıklılık, yüksek şeffaflık ve dalga boyu filtreleme sunan safir pencere alt katmanlarını görüntüleyin. Ürünü Görüntüle → Sipariş Vermeden Önce Neleri Doğrulamanız Gerekir?
Beş kontrol, sorunların çoğunu, gelen inceleme tezgahınıza ulaşmadan önce tespit eder.
Bir spesifikasyonun belirsiz olması durumunda, bunu çizim aşamasında çözün. Çiziminizi ve miktarını mühendislik ekibimize gönderin; yönlendirme, bitirme ve inceleme yöntemi, teslimattan sonra değil, teklif vermeden önce belirlenebilir.
Sıkça Sorulan Sorular
Safir gofret ile safir pencere aynı şey midir?
Hayır, vurgu farklı. Bir levha, toplam kalınlık değişimi, parçacık temizliği ve epitaksiye hazır ön yüzey açısından değerlendirilirken, bir pencere, iletim, tanımlanmış bir açıklık üzerindeki yüzey kalitesi ve kenar bitişi açısından değerlendirilir. Her ikisi de aynı topuzdan kesilebilir.
Safir gofretler tekrar kullanılabilir mi?
Taşıyıcı ve yapay plakalar, kirlenme kontrol altına alındığında birkaç kez yeniden cilalanabilir. Epi-hazır gofretler genellikle bunu yapamaz çünkü cilalı yüzey ve düzlük bütçesi ilk büyüme çalışması tarafından tüketilir.
Hangi kalınlığı sipariş etmeliyim?
Çapı takip edin. 2 inçte yaklaşık 430 mikrometre, 4 inçte 650 mikrometre ve 6 inçte 1 mm veya daha fazlası ortak başlangıç noktalarıdır. Daha ince plakalar termal kütleyi azaltır ancak taşıma ve taşıma sırasında kırılma riskini artırır.
Kesintiye ihtiyacım var mı?
MOCVD tarafından c-düzleminde büyütülen GaN için 0,2 dereceye yakın küçük bir sapma tipiktir. Prosesiniz adım yapısına duyarlı değilse, nominal eksen üstü levhanın tedarik edilmesi daha kolaydır ve genellikle daha ucuzdur.
苏公网安备 32041102000130 号